雷射微加工系統
BL-DW
應用範圍
微米加工製程:切割、切線、雕刻、選擇材料移除、鑽孔及表面改質等
應用材料: 80%以上工業材料皆可
應用產業: 半導體、消費性電子產業、顯示器
產品特點及優勢
產品特點及優勢
波長: 綠光 / 遠紫外光
雷射異形圖案化能力
最小加工線寬: < 5μm
雷射同軸視覺影像,利於搭配AOI功能
自動對焦功能(可選配)
光學及製程需求皆可提供客製化服務
規格
控制介面: RS232 x 3 / USB x 1 / IO Interface
供應電壓(VAC): 220V @10A
控制箱尺寸 (W × D × H, mm): 480 x 350 x 150
光學模組尺寸 (W × D × H, mm): 538 x 668 x 179
冷卻系統: 氣冷