Laser Lithography
使用雷射光刻技術在光阻上產生二維周期結構。(a) 白光被二維週期結構色散的照片,(b) 3D顯維影像照片 (c) 二維週期結構對雷射產生的繞射點。
光刻範圍: few mm to 100 mm
線寬: 0.15 um to few um
1維二元光柵
1維多週期光柵
二維光柵
超穎表面