光束整形模組
BL-Top hat laser module
雷射微影, 雷射剝離, 檢測用雷射照明
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Uniformity of Top-Hat: > 90%
適用雷射種類: 從連續波雷射到超快雷射均適用
適用波長: 250 ~ 1070 nm
光斑大小: few mm to 100 mm